Optikai 3D profilometria

Eszközeink

1. Saját fejlesztésű optikai kromatikus konfokális pásztázó mikroszkóp

Képességek:

• 5 tengelyes szkennelés, görbült felületek mérése

• Laterális pontosság: 1μm

• Merőleges pontosság: 0.1μm

• Mérés sebessége: max. 20kHz

2. Filmetrics Profilm 3D fehér fényű mikroszkóp

Képességek:

• 2 tengelyes szkennelés, sík felületek mérése

• Laterális pontosság: 0.5μm

• Merőleges pontosság: 0.01μm